早期的干式泵是由羅茨型多級(jí)轉(zhuǎn)子或爪型多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)而成，它們與泵腔內(nèi)沒有接觸，用同步齒輪驅(qū)動(dòng)兩個(gè)平行的轉(zhuǎn)子軸，由于泵腔內(nèi)沒有液體，因此內(nèi)部間隙應(yīng)盡量保持很小，以減少氣體返流。但這一微小的間隙對(duì)過(guò)程顆粒的堆積非常敏感，目前解決這一問題的方法是：將惰性氣體從泵的入口中充入，或用惰性氣體稀釋可凝固的腐蝕氣體。

　　在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的成功，也激勵(lì)了干泵制造商將其引入化工行業(yè)，盡管干泵價(jià)格昂貴，但操作成本較低，特別是不存在廢液處理問題，這有利于環(huán)境和健康。現(xiàn)在干泵有很多種類型，包括渦旋泵，隔膜泵，干旋片泵，羅茨型干泵，爪式干泵和螺旋真空泵。羅茨型干泵、爪式干泵和螺桿式真空泵在化工行業(yè)應(yīng)用中占主導(dǎo)地位。

　　一、圓柱型干泵

　　羅茨型干泵是化工行業(yè)廣泛使用的一種較大的干式真空泵。該泵是由三層三葉型羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)而成，它們安裝在同一根軸線上，各個(gè)轉(zhuǎn)子之間由中段隔開，形成各個(gè)級(jí)別的泵腔，上一級(jí)的排氣口與下一級(jí)的進(jìn)氣口串聯(lián)，各個(gè)級(jí)別的排氣口串聯(lián)進(jìn)行抽氣。所有級(jí)別的轉(zhuǎn)子直徑和形狀都相同，所有級(jí)別轉(zhuǎn)子的寬度朝高壓側(cè)方向變窄，但這種設(shè)計(jì)都要求級(jí)間冷卻，也就是，所有級(jí)別的轉(zhuǎn)子經(jīng)過(guò)熱交換器冷卻后，再進(jìn)入下一級(jí)別的入口。

　　二、干爪泵

　　爪式泵已于1930年進(jìn)行了研究，并首次應(yīng)用于壓縮機(jī)工業(yè)，爪式轉(zhuǎn)子具有高壓高壓縮比的特點(diǎn)。爪式轉(zhuǎn)子還有兩種功能：一種是用于截獲、輸送和壓縮氣體，另一種類似于閥門，用于在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候開啟和關(guān)閉吸氣和排氣?，F(xiàn)有此類泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)多采用一級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子與三級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)，以羅茨轉(zhuǎn)子為高真空級(jí)，以爪式轉(zhuǎn)子為壓縮排氣級(jí)。

　　三、螺旋真空泵

　　螺旋真空泵是20世紀(jì)90年代初出現(xiàn)的一種理想的泵種，具有抽速范圍寬，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，泵腔內(nèi)無(wú)摩擦組件，能耗低，無(wú)廢液排放，操作成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工、醫(yī)藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域。

　　螺旋真空泵工作原理：螺旋機(jī)構(gòu)由一對(duì)同步齒輪驅(qū)動(dòng)，螺桿反向旋轉(zhuǎn)，螺旋機(jī)構(gòu)在螺旋機(jī)構(gòu)和螺旋機(jī)構(gòu)之間，螺旋機(jī)構(gòu)和泵腔之間有一定的間隙，無(wú)金屬接觸。這樣螺桿在轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中就會(huì)從進(jìn)氣口被吸進(jìn)和排出。

　　相對(duì)于羅茨型干泵和爪式泵，螺桿式真空泵抽氣距離短，不受干擾，能快速排出，從而使泵中的微粒雜質(zhì)不易積聚。

　　此外，因?yàn)榇蠖鄶?shù)螺桿真空泵用于抽除腐蝕性或危險(xiǎn)氣體，為了防止泵腔和螺桿被腐蝕或銹蝕，并延長(zhǎng)泵的使用壽命，可根據(jù)不同用途采用下列不同涂層：

　　液體環(huán)形泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)部件少，操作、維修方便，價(jià)格也比較低廉。螺旋真空泵雖然價(jià)格較高，但其性能非常優(yōu)越，運(yùn)行費(fèi)用較低，不會(huì)產(chǎn)生廢液，既節(jié)能又環(huán)保。因此，以上兩種真空泵最適合在化工過(guò)程中使用。